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天眼查App顯示，北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司于2024年12月31日正式獲得“晶圓冷卻裝置”發(fā)明專(zhuān)利授權(quán)，專(zhuān)利號(hào)為CN118980226B。該專(zhuān)利技術(shù)由么曼實(shí)、孫卓、王春雷、羅功林和李海衛(wèi)共同研發(fā)，旨在解決半導(dǎo)體制造過(guò)程中晶圓冷卻效率低下的問(wèn)題。

該晶圓冷卻裝置包括腔室、第一冷卻機(jī)構(gòu)和第二冷卻機(jī)構(gòu)。腔室由頂板和底板組成，第一冷卻機(jī)構(gòu)包括第一冷卻盤(pán)、第一冷水管和升降臺(tái)，第二冷卻機(jī)構(gòu)則包括第二冷卻盤(pán)和第二冷水管。通過(guò)第一晶圓提升機(jī)構(gòu)和第二晶圓提升機(jī)構(gòu)的協(xié)同工作，該裝置可以同時(shí)對(duì)多個(gè)從工藝腔室中取出的晶圓進(jìn)行冷卻，顯著提高了冷卻效率。

北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司表示，這項(xiàng)技術(shù)的成功研發(fā)和應(yīng)用將有助于提升半導(dǎo)體制造的生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，進(jìn)一步推動(dòng)行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步。

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