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天眼查App顯示，安徽富樂德科技發(fā)展股份有限公司近日公開了一項名為“一種半導體不銹鋼TTN膜的清洗裝置及工藝”的發(fā)明專利，專利號為CN202411682224.5。該技術由李帥雨、賀賢漢和張繼月共同發(fā)明，旨在提高半導體不銹鋼TTN膜的清洗效率和效果。

該清洗裝置包括自動機械臂、浸泡籃以及按工藝步驟順序設置的化學混液浸泡槽一、純水漂洗槽、高壓水洗槽、化學混液浸泡槽二、純水浸泡槽和吹干槽。自動機械臂設置在所有槽體的上方，工作端連接浸泡籃，實現(xiàn)了自動化操作，減少了人工干預。

化學混液浸泡槽一和化學混液浸泡槽二內設有超聲波振板，利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體間接使污物層被分散、剝離而達到清洗目的。高壓水洗槽內設有高壓水洗噴嘴，吹干槽內設有CDA高壓噴嘴，確保清洗后的部件能夠快速干燥。

該裝置采用了閉環(huán)流程作業(yè)，保證部件清洗的有效性。清洗槽采用了外循環(huán)過濾裝置，保證循環(huán)的藥液的干凈，內部采用的防腐超聲波振板，進一步提高了清洗效果。整個清洗裝置由浸泡槽、純水槽、高壓水洗、CDA吹掃等組成，部件在浸泡籃不再通過人工進行搬送和清洗，選擇好需要的作業(yè)槽體，設備可以快速完成搬送和作業(yè)。

該專利的公開標志著安徽富樂德科技在半導體清洗技術領域取得了重要突破，有望在未來的半導體制造過程中發(fā)揮重要作用。

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