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天眼查App顯示，近日，中芯國際集成電路制造（北京）有限公司與中芯國際集成電路制造（上海）有限公司聯(lián)合申請了一項名為“半導(dǎo)體設(shè)備的故障預(yù)警方法”的發(fā)明專利。該專利于2023年6月30日公布，專利號為CN202310798500.3。

該方法通過提供若干組歷史設(shè)備運行數(shù)據(jù)，包括設(shè)備運行環(huán)境參數(shù)和半導(dǎo)體設(shè)備是否發(fā)生故障的信息，將這些數(shù)據(jù)輸入至神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型中進行訓(xùn)練和測試。當神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型的測試準確率達到預(yù)設(shè)閾值后，即可用于預(yù)測待檢測設(shè)備的運行環(huán)境參數(shù)，從而判斷半導(dǎo)體設(shè)備是否會發(fā)生故障。

通過這一方法，企業(yè)可以提前進行設(shè)備檢修或調(diào)整運行參數(shù)，降低設(shè)備故障的風險，保證設(shè)備的運行時間，進而提高生產(chǎn)效率。該技術(shù)的發(fā)明人包括周毅仲、歐陽丁杰、戴吟潔、孫俊麗和白雪。

這一創(chuàng)新技術(shù)的推出，標志著中芯國際在半導(dǎo)體設(shè)備維護領(lǐng)域的進一步突破，有望為半導(dǎo)體制造行業(yè)帶來更高的生產(chǎn)效率和更低的維護成本。

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