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上海感圖網(wǎng)絡(luò)科技有限公司推出晶圓背面缺陷檢測新方法

天眼查App顯示,上海感圖網(wǎng)絡(luò)科技有限公司近日公開了一項名為“晶圓背面缺陷檢測方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)”的發(fā)明專利,專利號為CN202411389128.1。該專利應(yīng)用在晶圓缺陷檢測領(lǐng)域,通過確定顯微鏡頭在待檢測點(diǎn)的目標(biāo)焦距序列,獲取目標(biāo)圖像序列,并進(jìn)行圖像融合處理,最終獲得待檢測晶圓背面的缺陷檢測結(jié)果。

該技術(shù)的核心在于通過圖像融合處理,節(jié)省晶圓圖像融合的時間,從而提高晶圓背面缺陷檢測的效率。這一創(chuàng)新方法有望在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域帶來顯著的技術(shù)進(jìn)步,提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

上海感圖網(wǎng)絡(luò)科技有限公司位于上海市閔行區(qū),專注于圖像處理和人工智能技術(shù)的研發(fā)。此次公開的專利展示了公司在晶圓檢測領(lǐng)域的技術(shù)實力,未來有望在半導(dǎo)體行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。

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