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天眼查App顯示，近日，江蘇亨芯石英科技有限公司與江蘇亨通光電股份有限公司共同宣布，他們成功開發(fā)了一種創(chuàng)新的光掩模石英基板制備系統(tǒng)及方法。這項技術通過將燒結爐與槽沉爐一體化設計，實現了石英棒在燒結后直接進行槽沉整形，從而有效縮短了生產周期，降低了生產成本。

該系統(tǒng)的核心在于其獨特的驅動機構和槽沉模具設計。驅動機構通過吊掛驅動石英棒下降，使其在燒結區(qū)致密化后進入槽沉爐，由底部開始逐漸熔融攤開在槽沉模具內。這一設計避免了因石英棒長徑比過大導致的折疊、傾倒等問題，進而減少了產品中出現條紋、氣泡、均勻性差以及應力大的情況。

據悉，這項技術不僅實現了大尺寸、低缺陷、高性能、高純度產品的生產，還可廣泛應用于IC光掩膜基板的開發(fā)。江蘇亨芯石英科技有限公司表示，他們將繼續(xù)致力于技術創(chuàng)新，為行業(yè)提供更高效、更可靠的解決方案。

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