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天眼查App顯示，深圳市集銀科技有限公司于2024年4月9日申請(qǐng)的一項(xiàng)實(shí)用新型專利“一種真空管路系統(tǒng)”已獲得授權(quán)，專利號(hào)為CN202420724491.3。該專利由梁富、徐燦、賈偉和李波共同發(fā)明，涉及真空技術(shù)領(lǐng)域。

該真空管路系統(tǒng)包括至少兩個(gè)真空泵、抽真空管路和腔體。每個(gè)抽真空管路通過(guò)真空閥與對(duì)應(yīng)的腔體連通，并與相鄰的抽真空管路連通。每個(gè)真空泵與對(duì)應(yīng)的抽真空管路連通。這一設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了至少兩個(gè)真空泵同時(shí)控制至少兩個(gè)腔體，克服了傳統(tǒng)一腔一泵模式無(wú)法保證腔體真空度的問(wèn)題。

通過(guò)不同的真空泵交叉作業(yè)，該系統(tǒng)能夠充分利用真空泵的工作能力，避免了等待時(shí)間，從而避免了資源的浪費(fèi)。這一創(chuàng)新設(shè)計(jì)在提高真空系統(tǒng)效率方面具有重要意義，預(yù)計(jì)將在相關(guān)行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。

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